ESPI - 電子スペックルパターン干渉法

シュタインビヒラーのESPIシステムは、変形および振動解析用の極めて柔軟なシステムです。このシステムではお客様と実用化の要請に合わせて、様々な拡張レベルで仕様のカスタマイズが可能です。

レーザー光の波形性状を活用する事により、ごく微小な変形を0.05 µmの精度で検知します。その際、変形は1次元的（典型的な面外）またはオプションの3D装置により空間的に（面内および面外）測定されます。

振動解析では特に、励起したパーツの共振周波数や振動形式を迅速・厳密に確定します。『フリー・バウンダリ』や『正弦波ステッピング／ユニバーサル・ファイル 』のような革新的機能の展開によって、検査システムの操作性は著しく向上しています。